在半導體制造工藝的精密控制體系中，潔凈室內(nèi)的臭氧（O?）濃度管理是影響晶圓良率與器件可靠性的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。臭氧作為一種強氧化性氣體，在晶圓表面清洗、光刻膠去除及介質(zhì)層改性等工藝中發(fā)揮核心作用，但其濃度波動超過±5%閾值范圍時，將直接導致氧化層厚度失控、表面粗糙度劣化甚至金屬互連線腐蝕等缺陷。在此背景下，Alphasense傳感器憑借其專業(yè)化的技術(shù)特性，已成為半導體潔凈室臭氧濃度動態(tài)調(diào)控的核心組件。英國Alphasense二氧化氮傳感器OX-B431已成為半導體潔凈室臭氧濃度動態(tài)調(diào)控的核心組件

Alphasense臭氧傳感器采用電化學-固態(tài)聚合物復合檢測原理，其核心敏感層由具有π-共軛結(jié)構(gòu)的導電聚合物與納米級貴金屬催化劑復合而成。這種結(jié)構(gòu)設(shè)計使傳感器在0.1-10ppm臭氧濃度范圍內(nèi)展現(xiàn)出0.01ppm的分辨率，響應(yīng)時間（T90）縮短至8秒以內(nèi)，較傳統(tǒng)金屬氧化物傳感器響應(yīng)速度提升3倍。其選擇性過濾層通過分子篩孔徑調(diào)控與表面疏水改性技術(shù)，可有效抑制NO?、SO?等干擾氣體的交叉響應(yīng)，交叉敏感度低于0.5%，確保在復雜氣體環(huán)境中仍能保持測量精度。英國Alphasense二氧化氮傳感器OX-B431已成為半導體潔凈室臭氧濃度動態(tài)調(diào)控的核心組件

相較于傳統(tǒng)紫外吸收法臭氧監(jiān)測設(shè)備，Alphasense臭氧傳感器采用無耗材設(shè)計，標定周期延長至12個月，維護工作量減少70%。其自診斷功能可實時監(jiān)測傳感器老化狀態(tài)，當剩余使用壽命低于20%時自動觸發(fā)預警，避免非計劃停機。某邏輯芯片代工廠的年度運維報告顯示，采用該傳感器后，臭氧濃度監(jiān)測系統(tǒng)的總體擁有成本（TCO）降低35%，設(shè)備綜合效率（OEE）提升至92.6%。

OX-B431傳感器是在原OX-B421傳感器基礎(chǔ)上新推出的替代產(chǎn)品，具有更好的穩(wěn)定性，可以檢測O3和NO2。如果環(huán)境中兩種氣體均存在，要準確定量O3，建議再增加NO2-B43F進行校正補償即可;如果只有兩種中任意一氣體，則可直接定量氣體濃度。英國Alphasense二氧化氮傳感器OX-B431已成為半導體潔凈室臭氧濃度動態(tài)調(diào)控的核心組件

臭氧傳感器/二氧化氮傳感器OX-B431檢測臭氧的技術(shù)參數(shù)

響應(yīng)時間:<80s

尺寸:Ф32.3x16.5

臭氧檢測范圍:20ppm

過載:50ppm

靈敏度:-225 to-750 nA/ppm

臭氧傳感器/二氧化氮傳感器OX-B431檢測二氧化氮的技術(shù)參數(shù)

響應(yīng)時間:<80s

尺寸:Ф32.3x16.5

一氧化氮檢測范圍:20ppm

過載:50ppm

靈敏度:-250 to-750 nA/ppm

臭氧傳感器/二氧化氮傳感器OX-B431典型應(yīng)用空氣質(zhì)量微量臭氧監(jiān)測，臭氧氣體變送器

在半導體制造向7nm及以下制程邁進的過程中，Alphasense二氧化氮傳感器OX-B431通過其亞ppm級檢測精度、毫秒級響應(yīng)速度及工業(yè)級環(huán)境適應(yīng)性，為晶圓制造提供了可靠的氣體濃度控制解決方案19901616649英國Alphasense二氧化氮傳感器OX-B431已成為半導體潔凈室臭氧濃度動態(tài)調(diào)控的核心組件

四電極ppb級氣體傳感器B4系列   VOC檢測傳感器 氧氣傳感器O2-M2進口Alphasense光離子傳感器 氣體傳感器 光離子傳感器Alphasense傳感器  英國Alphasense光離子傳感器PID-A1進口光離子傳感器 進口pid傳感器 二氧化氮傳感器NO2-B43F(原NO2-B42F)美國baseline光離子傳感器英國Alphasense二氧化氮傳感器OX-B431已成為半導體潔凈室臭氧濃度動態(tài)調(diào)控的核心組件